|

Перспектива метода многокритериальной оптимизации в процессе ионного имплантирования микрокомпонентов

Авторы: Антропов Г.М.
Опубликовано в выпуске: #4(99)/2025
DOI:


Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Методы контроля и диагностика в машиностроении

Ключевые слова: многокритериальная оптимизация, методы напыления, ионное имплантирование, VIAT, парето-оптимальные решения, статистическая модель

Опубликовано: 11.08.2025

Сегодня при производстве полупроводников для изготовления имплантатов используется почти вся таблица Менделеева. Наиболее часто в кремниевом производстве применяют следующие легирующие примеси: мышьяк, фосфор, бор, дифторид бора, индий, сурьма, германий, кремний, азот, водород, и другие. Существует целая хронология создания, слияния и закрытия крупных зарубежных компаний — поставщиков оборудования для ионного имплантирования. С каждым годом в России растет существующая потребность в микропроцессорах как простого, так и сложного исполнения. Научно-исследовательские институты и конструкторские бюро предлагают различные решения установок с ионными импланторами. В данной статье представлены планы и предложены идеи по оптимизации работы установки для ионного имплантирования.


Литература

[1] Давыдов А.Н. Автоматизация машиностроительного предприятия на основе технологий компьютерной поддержки жизненного цикла изделий. Дис. … канд. техн. наук. Москва, 2001, 156 с.

[2] Григорьев С.Н., Кутин А.А., Долгов В.А. Принципы построения цифровых производств в машиностроении. Вестник МГТУ Станкин, 2014, № 4, с. 10–15.

[3] Coснин П.И. Вопросно-ответное моделирование в разработке автоматизированных систем. Ульяновск, УлГТУ, 2007, 333 с.

[4] Красников Г.Я. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП транзисторов. Москва, Техносфера, 2011, 800 с.

[5] Current M., Rubin L., Sinclair F. Commercial Ion Implantation Systems. Ion Implantation Science and Technology-2018, Ion Implant Technology Co. Publ., 2018.

[6] Симонов В.В., Корнилов Л.А., Шашелев А.В., Шокин Е.В. Оборудование для ионной имплантации. Москва, Радио и связь, 1988, 184 с.

[7] Буй В.Ф., Гаврюшин С.С., Фунг В.Б., Данг Х.М., Прокопов В.С. Динамический и прочностной анализ системы главного привода при проектировании моечной машины нового типа для овощей и фруктов. Инженерный журнал: наука и инновации, 2020, № 4. https://doi.org/10.18698/2308-6033-2020-4-1970