| Авторы: Федюнин А.П. |
Опубликовано: 30.10.2017 |
| Опубликовано в выпуске: #11(16)/2017 |
|
| DOI: 10.18698/2541-8009-2017-11-203 |
|
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника |
|
|
Ключевые слова: контроль сопротивления, элионные технологии, магнетронное распыление, термическое испарение, тонкие пленки, технологическая установка, аналого-цифровой преобразователь, островковые наноразмерные структуры
|
| 
