Исследование оптимальных параметров качества при расшифровке интерферограммы методом Фурье

Авторы: Столяров А.В.
Опубликовано в выпуске: #5(94)/2024
DOI:
Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Лазерные и оптико-электронные системы
Ключевые слова: расшифровка интерферограммы, оптимальные параметры расшифровки, расшифровка методом Фурье, извлечение фазы, измерение формы поверхности
Опубликовано: 18.11.2024

Исследование оптимальных параметров при расшифровке интерферограммы методом Фурье является важной задачей и имеет большое значение в области оптической интерферометрии. В данной работе проведен анализ оптимальных параметров, влияющих на точность расшифровки интерферограммы с полосами равного наклона при использовании метода Фурье. Найдены оптимальные параметры расшифровки, такие как качество и размеры изображения интерферограммы, а также типы фильтрации и параметры алгоритмов разворачивания фазы. Результаты показывают, как эти параметры влияют на корректность результатов и погрешность при расшифровке одиночной интерферограммы. Полученные данные можно использовать для выбора и оптимизации ключевых параметров при расшифровке интерферограмм методом Фурье, что позволяет повысить точность и достоверность измерений.

Литература

[1] Романова Г.Э., Парпин М.А., Серегин Д.А. Компьютерные методы контроля оптики. Санкт-Петербург, СПбГУ ИТМО, 2011, 190 c.

[2] Takeda M., Ina H., Kobayashi S. Fourier-transform method of fringe-pattern analysis for computer-based topography and interferometry. JosA, 1982, vol. 72, iss. 1, pp. 156–160. https://doi.org/10.1364/JOSA.72.00015

[3] Malacara Z., Servin M. Interferogram analysis for optical testing. London, CRC press, 2018.

[4] Gerchberg R.W. Super-resolution through error energy reduction. Optica Acta: International Journal of Optics, 1974, vol. 21, no. 9, pp. 709–720. https://doi.org/10.1080/713818946

[5] Roddier C., Roddier F. Interferogram analysis using Fourier transform techniques. Applied optics, 1987, vol. 26, no. 9, pp. 1668–1673. https://doi.org/10.1364/ao.26.001668

[6] ГОСТ 25142–82. Шероховатость поверхности. Термины и определения. Москва, Стандартинформ, 2018.

[7] ISO 10110–5:2015. Optics and photonics — Preparation of drawings for optical elements and systems. Part 5. Surface form tolerances. ISO, 2015.

[8] Zhao Z. et al. Robust 2D phase unwrapping algorithm based on the transport of intensity equation. Measurement Science and Technology, 2018, vol. 30, no. 1, art. 015201. https://doi.org/10.1088/1361-6501/aaec5c

[9] Goodwin E.P., Wyant J.C. Field guide to interferometric optical testing. Bellingham, WA, SPIE, 2006.

[10] Malacara D., ed. Optical shop testing. John Wiley & Sons, 2007, vol. 59.72, no. 1, pp. 156–160.

[11] Novak J. Computer analysis of interference fields using Matlab. MATLAB conference, 2002, pp. 406–410.

[12] Macy W.W. Two-dimensional fringe-pattern analysis. Applied Optics, 1983, vol. 22, no. 23, pp. 3898–3901. https://doi.org/10.1364/AO.22.003898

[13] Wyant J.C., Creath K. Basic wavefront aberration theory for optical metrology. Applied optics and optical engineering, 1992, vol. 11, part 2, pp. 28–39.