Разработка конструкции магнитной системы c двумя областями плазмы для жидкофазного магнетронного распыления

Авторы: Храмова А.А., Матанин А.Р., Васильев Д.Д.
Опубликовано в выпуске: #9(14)/2017
DOI: 10.18698/2541-8009-2017-9-161
Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Технологии и машины обработки давлением
Ключевые слова: жидкофазное магнетронное распыление, индукция магнитного поля, магнитная система с двумя областями плазмы, несбалансированная магнитная система
Опубликовано: 14.09.2017

Рассмотрен один из способов повышения индукции магнитного поля, создаваемого магнетроном, для дальнейшего осуществления МРС из жидкой фазы. Исследовано поведение магнитного поля системы двух цилиндрических соосных магнитов при изменении расстояния между ними. Приведена конструкция магнитной системы, формирующей две области плазмы, способной увеличить индукцию магнитного поля над поверхностью мишени. Выполнен сравнительный анализ магнитных полей магнитной системы с двумя магнитными областями и классической магнитной системы с одной областью плазмы. Получены количественные данные, позволяющие судить об усилении магнитного поля.

Литература

[1] Данилин Б.С., Какурин М.В., Минайчев В.Е., Одиноков В.В., Сырчин В.К. Осаждение металлических пленок путем распыления из жидкой фазы. Электронная техника. Сер. Микроэлектроника, 1978, № 2, с. 84–87.

[2] Тумаркин А.В., Ходаченко Г.В., Казиев А.В., Щелканов И.А., Степанова Т.В. Магнетронный разряд с расплавленным катодом. Успехи прикладной физики, 2013, т. 1, № 3, с. 276–282.

[3] Свадковский И.В. Направления развития магнетронных распылительных систем. Доклады БГУИР, 2007, т. 5, № 2, с. 112–121.

[4] Работкин С.В. Нанесение прозрачных проводящих покрытий на основе оксида цинка методом магнетронного распыления. Автореф. дис. ... канд. тех. наук. Томск, Институт сильноточной электроники, 2009, с. 7–8.