| 
Поиск по ключевому слову "жидкофазное магнетронное распыление"
Разработка конструкции магнитной системы c двумя областями плазмы для жидкофазного магнетронного распыления
| Авторы: Храмова А.А., Матанин А.Р., Васильев Д.Д. | Опубликовано: 14.09.2017 |
| Опубликовано в выпуске: #9(14)/2017 | |
| DOI: 10.18698/2541-8009-2017-9-161 | |
| Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Технологии и машины обработки давлением | |
| Ключевые слова: жидкофазное магнетронное распыление, индукция магнитного поля, магнитная система с двумя областями плазмы, несбалансированная магнитная система | |