| 
Все статьи автора "Грешилов В.В."
Выравнивание потоков материалов в магнетронных распылительных системах
| Авторы: Грешилов В.В. | Опубликовано: 09.10.2017 |
| Опубликовано в выпуске: #10(15)/2017 | |
| DOI: 10.18698/2541-8009-2017-10-185 | |
| Раздел: Авиационная и ракетно-космическая техника | Рубрика: Динамика, баллистика, управление движением летательных аппаратов | |
| Ключевые слова: магнетронная распылительная система, тонкие пленки, маскирующие профили | |