Поиск по ключевому слову "маскирующие профили"
Выравнивание потоков материалов в магнетронных распылительных системах
Авторы: Грешилов В.В. | Опубликовано: 09.10.2017 |
Опубликовано в выпуске: #10(15)/2017 | |
DOI: 10.18698/2541-8009-2017-10-185 | |
Раздел: Авиационная и ракетно-космическая техника | Рубрика: Динамика, баллистика, управление движением летательных аппаратов | |
Ключевые слова: магнетронная распылительная система, тонкие пленки, маскирующие профили |