| 
Поиск по ключевому слову "эксимерный лазер"
Получение тонких алмазоподобных пленок методом импульсного лазерного осаждения и исследование их свойств
| Авторы: Кривошеев А.В., Пономаренко С.Л. | Опубликовано: 05.06.2018 |
| Опубликовано в выпуске: #6(23)/2018 | |
| DOI: 10.18698/2541-8009-2018-6-324 | |
| Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки | |
| Ключевые слова: алмазоподобные пленки, тонкие пленки, импульсное лазерное осаждение, вакуумное напыление, лазерная абляция, эксимерный лазер, эллипсометрия, толщина тонких пленок | |