Получение тонких алмазоподобных пленок методом импульсного лазерного осаждения и исследование их свойств

Авторы: Кривошеев А.В., Пономаренко С.Л.
Опубликовано в выпуске: #6(23)/2018
DOI: 10.18698/2541-8009-2018-6-324
Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки
Ключевые слова: алмазоподобные пленки, тонкие пленки, импульсное лазерное осаждение, вакуумное напыление, лазерная абляция, эксимерный лазер, эллипсометрия, толщина тонких пленок
Опубликовано: 05.06.2018

Проанализированы методы получения тонких пленок, описано применение метода импульсного лазерного осаждения для получения тонких алмазоподобных пленок. Рассмотрены различные способы измерения толщины тонких пленок. Описана лазерная установка PLD-400, включающая эксимерный лазер CL 7000 и вакуумную систему с турбомолекулярным насосом Turbovac 350 i. Экспериментальная часть посвящена выявлению оптимальных технологических параметров импульсного лазерного осаждения. Измерение толщины осуществлялось методом эллипсометрии. Выяснено, что способ очистки напыляемой поверхности влияет на устойчивость покрытия, а глубина вакуума и расстояние между мишенью и подложкой на толщину пленки.

Литература

[1] Панфилов Ю.В. Нанесения тонких пленок в вакууме. Технологии в электронной промышленности, 2007, № 3, с. 76–80.

[2] Майссел Л., Глэнг Р., ред. Технология тонких пленок. В 2 т. Москва, Советское радио, 1977, 664 с., 768 с.

[3] Donnet Ch., Erdemir A., eds. Tribology of diamond-like carbon films: fundamentals and applications. Springer, 2008, 664 p.

[4] Кривобоков В.П., Сочугов Н.С., Соловьев А.А. Плазменные покрытия (свойства и применение). Томск, Изд-во ТПУ, 2011, 136 с.

[5] Иванов А. Технология напыления тонких пленок. Современная светотехника, 2010, № 1, с. 45–48.

[6] Жданов А.В. Методы нанесения вакуумных PVD-покрытий. Владимир, ВлГУ, 2014, 161 с.

[7] Бугаев С.П., Коротаев А.Д., Оскомов К.В., Сочугов Н.С. Свойства алмазоподобных пленок, полученных в барьерном разряде при атмосферном давлении. Журнал технической физики, 1997, т. 67, № 8, с. 100–104.

[8] Хомченко А.В., Сотский А.Б., Романенко А.А. Волноводный метод измерения параметров тонких пленок. Журнал технической физики, 2005, т. 75, № 6, с. 98–106.

[9] Федюнин А.П. Контроль сопротивления тонкопленочного покрытия в режиме реального времени. Всеросс. науч.-тех. конф. «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии». URL: http://studvesna.ru/?go=articles&id=1956 (дата обращения 04.05.2018).

[10] Шупенев А.Е. Разработка технологии создания высокоэффективных тонкопленочных термоэлектрических материалов методом импульсного лазерного осаждения. Дисс. … канд. техн. наук. Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2018, 131 с.