| 
Поиск по ключевому слову "жидкофазная эпитаксия"
Проблемы получения слаболегированных эпитаксиальных слоев AlGaAs методом жидкофазной эпитаксии
| Авторы: Шумакин Н.И. | Опубликовано: 20.02.2019 |
| Опубликовано в выпуске: #2(31)/2019 | |
| DOI: 10.18698/2541-8009-2019-2-445 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника | |
| Ключевые слова: гетероструктура, жидкофазная эпитаксия, слаболегированный слой, фоновые примеси, легирование, компенсация, арсенид галлия, редкоземельные элементы | |