| 
Поиск по ключевому слову "кварцевый резонатор"
Создание массочувствительных пьезоэлементов методом импульсного лазерного осаждения
| Авторы: Кривошеев А.В., Пономаренко С.Л. | Опубликовано: 19.06.2019 |
| Опубликовано в выпуске: #6(35)/2019 | |
| DOI: 10.18698/2541-8009-2019-6-492 | |
| Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки | |
| Ключевые слова: импульсное лазерное осаждение, датчик пыли, массочувствительный датчик, кварцевые микровесы, кварцевый резонатор, загрязнение окружающей среды, тонкопленочные покрытия, измерение толщины тонких пленок | |