| 
Поиск по ключевому слову "тонкопленочные покрытия"
Создание массочувствительных пьезоэлементов методом импульсного лазерного осаждения
| Авторы: Кривошеев А.В., Пономаренко С.Л. | Опубликовано: 19.06.2019 |
| Опубликовано в выпуске: #6(35)/2019 | |
| DOI: 10.18698/2541-8009-2019-6-492 | |
| Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки | |
| Ключевые слова: импульсное лазерное осаждение, датчик пыли, массочувствительный датчик, кварцевые микровесы, кварцевый резонатор, загрязнение окружающей среды, тонкопленочные покрытия, измерение толщины тонких пленок | |
Опаловые пленки и формирование инверсных структур вакуумными методами
| Авторы: Галаганова Е.Н. | Опубликовано: 13.06.2018 |
| Опубликовано в выпуске: #6(23)/2018 | |
| DOI: 10.18698/2541-8009-2018-6-328 | |
| Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Технологии и машины обработки давлением | |
| Ключевые слова: опал, фотонные кристаллы, тонкопленочные покрытия, вакуумные методы, запрещенная зона, микросферы, многослойная структура, абсорбер, альтернативные источники энергии | |
Верификация результатов расчета магнитных полей в магнетронной распылительной системе
| Авторы: Титушкин А.В. | Опубликовано: 28.06.2017 |
| Опубликовано в выпуске: #7(12)/2017 | |
| DOI: 10.18698/2541-8009-2017-7-132 | |
| Раздел: Информатика, вычислительная техника и управление | Рубрика: Системный анализ, управление и обработка информации, статистика | |
| Ключевые слова: магнетронная распылительная система, ионное распыление, магнетрон, тонкопленочные покрытия, численные методы моделирования магнитного поля, топология магнитного поля, оптимизация конфигурации магнитного поля | |