Поиск по ключевому слову "молекулярно-лучевая эпитаксия"
Создание гетероструктуры gaalas/gaas методом молекулярно-лучевой эпитаксии с применением косвенного контроля скорости роста покрытия
Авторы: Титушкин А.В. | Опубликовано: 04.10.2017 |
Опубликовано в выпуске: #10(15)/2017 | |
DOI: 10.18698/2541-8009-2017-10-182 | |
Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Приборы и методы измерения | |
Ключевые слова: молекулярно-лучевая эпитаксия, эффузионная ячейка, контроль скорости роста покрытия, полупроводниковые гетероструктуры, гетеропереход, двумерный электронный газ, метод Ван дер Пау, квантовый эффект Холла |